生產實時控制

保證賬料一致

減少人工操作和人工工作量

提高生產率

自動收集設備數據，减少人工录入数据产生的错误

提高數據的準確性，及时性

自動收集設備的警報信息，结合设备数据，方便查找Lot的处理记录

提高查找和分析產品質量問題的速度，进而提高产品质量

自動實時檢查設備參數，防止设备因参数偏离引起的产品质量问题

收集SPC数据，方便分析和查找产品缺陷问题和质量问题

Recipe集中控制，实时检查

防止因不當修改Recipe参数引起的产品质量问题

便於工程師管理、修改Recipe

防止在不同設備多次修改同一Recipe引起的改错、漏改的问题